既存の熱式 気圧センサは、感度が小さく測定精度が低いものが一般的です。SEMITECの薄膜サーミスタFTを応用し高精度な気圧センサが実現できます。
大気中で発熱体が冷める度合いは、気圧に関係します。この発熱体の温度を精密に測定することができれば気圧センサとして使用することができます。
薄膜サーミスタFTシリーズ
![FTサーミスタ（薄膜）](https://www.semitec.co.jp/uploads/2021/12/FT_Thermistor-1.jpg"")
・極めて体積が小さい＝自己発熱させる為の電力が小さい
＝温度変化に非常に敏感
・製法上特性がほぼ同一の2つのFTサーミスタを作成可能
| SEMITEC 気圧検知センサ | 一般的な熱伝導式センサの⼀例 | |
|---|---|---|
| 動作原理 | 熱伝導式 | 熱伝導式 |
| 出力 | 240mV at100Pa | 4mV at100Pa |
| 許容電流 | 30mA(210mAで断線) | 2mA(10mAで断線) |
| 測定圧力範囲 | 0.15Pa～100,000Pa | 0.4Pa～3,000Pa |
| 温度範囲 | 0℃～40℃ | 10℃～50℃ |
| 精度 | ±1％(6σ) | ±15％ |
| 再現性 | ±1.4％ at100Pa (環境温度一定) |
±15％ (環境温度一定) |
| 安定時間 | 1min | 20min |
| 耐圧 | 0.2MPa | 0.2MPa |
SEMITEC独自の温度センサ技術を応用し微小な温度変化を正確に測定することで、温度以
外の物理量のセンシングを可能とした一例です。センシングでの困りごと、ご相談がござい
ましたら、是非お問い合わせください。
